ジーダット—ストップ高、フォトマスクの静電破壊検証をリリース

ジーダットはストップ高。6月末リリース予定のSX-Meister PowerVoltに関して、フォトマスクの静電破壊検証を公表している。メーカからの要望に対し、フォトマスクの静電破壊リスクを検証する解析モデルを開発し、この解析モデルと、高精度な抵抗抽出機能、論理演算・デバイス定義機能、直流解析機能などのベース技術を組み合わせることで、マスク製造前にCADデータ上でフォトマスクの静電破壊のリスク検証を行うことを世界で初めて実現したようだ。