オキサイド—大幅に反発、6インチp型SiCウエハを「SEMICON Japan」で公開展示へ

大幅に反発。連結子会社のオキサイドパワークリスタル（山梨県北杜市）が参加する開発グループが試作に成功した6インチp型SiCウエハを半導体製造技術の展示会「SEMICON Japan」（17-19日開催）で国内で初めて公開展示すると発表している。名古屋大学の溶液成長法を基盤技術とし、デジタルツインによるプロセス最適化を組み合わせた。SiCは電気自動車や再生可能エネルギー用インバータなどに用いられる次世代パワー半導体材料。