ＴＯＴＯ—大幅続伸、半導体部材に800億円投資などと伝わる

ＴＯＴＯ<5332>は大幅続伸。半導体製造装置向け部材事業に今後5年で800億円規模を投資すると報じられている。1980年代に参入した半導体部材事業においては、半導体ウエハーの固定に使われる「静電チャック」を主力製品としている。フル稼働が続く福岡県豊前市と大分県中津市の工場に最新設備を導入し能力を増強するもよう。また、神奈川県の拠点では、回路線幅1ナノメートル台のロジック半導体の半導体製造に焦点を当てた研究開発も進めるようだ。